什么是Parylene? 中文名:聚对二甲苯、派瑞林。
是一种聚脂保护材料,透明无色。在室温状态下应用于真空工艺,真空金属化处理压力10-5torr或以下进行,而Parylene敷膜加工在0.1torr左右形成. 涂层厚度可以控制在1至100微米之间,早在六十年代初期由美国人专利开发,并首先应用在美国军用印刷电路板、航空航天及水下发射装置中的微电子部件等领域1972年被例入美军标:
使用Parylene的好处:
☆可以抗酸碱腐蚀 ☆可以抗溶解(在普通的溶剂中不会被溶解) ☆ 抗冻性能强(低至200℃)
☆具有无可比拟的屏障效果(低气体渗透性)☆可靠性强,具有极高的绝缘强度
☆采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且极薄的膜层.
☆能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝
☆经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强