什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜,真空镀膜压力在10-5托以下,而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间,该涂层是美国在60年代初开发的专利,首次应用于美国军用印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域,1972年被纳入美国军用标准:

MIL-I-46058C


微纳米加工技术:化学气相沉积工艺(CVD)

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室,通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子,在真空(1.0*10-2torr)作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室,在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体,活性单体与单体之间重新聚合,形成一层致密无针孔的纳米膜层。

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