什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10^-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的专利，首次应用于美国军用印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美国军用标准：

MIL-I-46058C

微纳米加工技术：化学气相沉积工艺（CVD）

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无针孔的纳米膜层。