Parylene镀膜工艺以其独特的气相沉积技术，为精密元件提供了卓越的防护屏障。作为一项高度专业化的表面处理技术，Parylene镀膜工艺流程不仅涉及精密的设备控制，还需严格遵循科学的操作规范。今天，小编带你了解一下Parylene镀膜工艺的核心流程。

一|表面预处理

• 基材处理-清洗：

• 原料准备：

准备固态的Parylene二聚体粉末作为镀膜材料，确保纯度和质量，避免杂质影响镀膜质量。原料需储存在干燥、避光、密封的容器中，以防止吸湿和分解。

• 设备检查：

三|镀膜过程

• 真空环境建立：

• 原料蒸发：

• 热解与裂解：

气态二聚体在真空作用下进入裂解炉，炉内温度升至650~700℃（具体温度可能因设备和工艺而异），高温将二聚体分子的两个侧链碳碳链裂解，生成稳定的活性单体——聚对二甲苯单体。

• 沉积与聚合：

• 涂层固化：

• 真空解除：

镀膜完成后，关闭加热炉，停止加热，等待设备冷却至安全温度后，解除真空环境，打开腔室门取出镀好膜的基材。

• 质量检验：

对镀膜后的基材进行质量检验，包括膜层厚度、均匀性、附着力、耐腐蚀性等性能测试，确保镀膜质量符合要求。可采用显微镜观察、膜厚测量仪、附着力测试仪等设备进行检测。

• 温度控制：

精确控制加热炉和裂解炉的温度。固态Parylene原料在120~180℃下升华成气态，然后在650~700℃左右裂解成活性单体。温度波动可能影响原料的升华和裂解效果。

• 气流控制：

确保气态原料在裂解后能够顺利进入沉积腔室，并在基材表面均匀沉积。气流速度、压力和分布需精确控制。

• 镀膜均匀性：

监控镀膜过程中的均匀性，确保基材表面各区域镀膜厚度一致。可通过调整基材位置、旋转速度等参数来改善均匀性。

• 安全操作：

操作过程中，应遵循安全操作规程，避免烫伤、电击意外事故发生。

• 环境控制：

注意控制镀膜环境的温度、湿度和清洁度等参数，以保证镀膜质量。

• 设备维护：

定期对设备进行检查和维护，确保其正常运行和使用效果。

• 操作培训：

对操作人员进行专业培训，提高其操作技能和安全意识。